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      質(zhì)量流量控制器

      簡要描述:質(zhì)量流量控制器 V 系列 MFC 是用于精確控制氣體質(zhì)量流量的設備,MFC 既可應用于半導體前段制程,如 ETCH、PVD、ALD、MOCVD、IMP 等設備中, 也在光伏能源、真空鍍膜等領域有可觀的市場。
      MFC 可通過對氣體流量的精準控制,有效地提供更高的良率。

      • 產(chǎn)品型號:V 系列 MFC
      • 廠商性質(zhì):代理商
      • 更新時間:2025-05-09
      • 訪  問  量:51
      • 產(chǎn)品資料:

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      質(zhì)量流量控制器 V 系列 MFC


      質(zhì)量流量控制器 VG80 系列 MFC 是用于控制氣體質(zhì)量流量的零部件,具有以下特點1


      • 設計dute:采用 “雙閥 + 壓降 + 位置傳感" 的dute設計。

      • 性能youyue:響應速度快,啟停時間≤100ms;測量精度高,可達 ±0.5% S.P.;測量量程寬,在 2 - 100% F.S.;自診斷能力強,維護成本低。

      應用場景:MFC 既可應用于半導體前段制程,如 ETCH、PVD、ALD、MOCVD、IMP 等設備中, 也在光伏能源、真空鍍膜等領域有可觀的市場。 MFC 可通過對氣體流量的精準控制,有效地提供更高的良率。

      該系列產(chǎn)品可廣泛應用于半導體制造中的 etch(刻蝕)、CVD(化學氣相沉積)、PVD(物理氣相沉積)、ALD(原子層沉積)、MOCVD(金屬有機化學氣相沉積)等工藝設備中,也適用于如 MPCVD(微波等離子體化學氣相沉積)、解熱解凍干燥、石英提純、醫(yī)療廢棄物處理等領域。

      質(zhì)量流量控制器




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